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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
INFICON高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內(nèi)的壓力。HPG400 型真空計為精準(zhǔn)的濺射過程壓力控制提供重復(fù)測量并再現(xiàn)測量數(shù)據(jù)。
詳情介紹：
HPG400 大氣壓至高真空真空計
INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計 將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內(nèi)的壓力。 HPG400 型真空計為精準(zhǔn)的濺射過程壓力控制提供重復(fù)測量并再現(xiàn)測量數(shù)據(jù)。
益處
- HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
- 高壓熱電離真空計可以準(zhǔn)確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過程控制
- 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲，防止過早燒毀
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
- RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
- 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
